美國派克930 係列隔膜閥這款產品可應用:腐蝕性氣體和特種氣體,半導體工具,工具連接,燃氣櫃,閥組箱(VMB)。提供優異的泄漏完整性,高循環使用壽命和低顆粒發生,非常適用於UHP半導體應用。
PARKER 930係列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計,可大限度地減少顆粒產生和截留,減少半導體應用中*的工藝汙染。可推廣的市場:半導體,分析實驗室,製藥,生物製藥,航空航天,工業。
該係列閥門的嚴格設計,控製閥座和隔膜應力,以提供可靠和免維護的使用壽命。930係列閥門潤濕部件由特種金屬製成,提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不鏽鋼材質。 美國派克930係列隔膜閥麵價。Vericlean™ 是派克專有的UHP級不鏽鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。
派克930係列還提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮樹脂(PEEK®)和聚酰亞胺(Vespel®)材質的閥座,可使930閥門與各種工藝流體相兼容。這些材料結合930係列嚴格的設計特點,給予了930係列產品在入口壓力高達300 psig時極度的耐腐蝕性和大循環使用壽命。
派克930係列1-1 / 8英寸不鏽鋼閥體隔膜閥提供優異的泄漏完整性,高循環使用壽命和低顆粒發生,非常適用於UHP半導體應用。美國派克930係列隔膜閥麵價歡迎新老客戶前來詢價比價。
特點與優勢:
• 電拋光表麵光潔度:5微英寸(Ra)
• 高循環使用壽命(包括耐腐蝕服務)
• 內部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產生和氣體截留
• 全壓力範圍使用:從真空到300 psig
• 內部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驅動,額定壓力為75 psig
這款氣動閥可以配置限位開關或接近開關,用以提供開 - 關位置指示。還有多種閥體構造可選,包括930Y係列(Y型閥)和SM930係列(麵板安裝)。閥門上內部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試,以確保在苛刻的UHP應用中,保有其性能和可靠性。
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